»ó´Ü¿©¹é
HOME À̽´
Áö¸à½º, Æú¸®½Ç¸®ÄÜ CVD ¹ÝÀÀ±â Á¦¾îÀÇ ÇÙ½É ½Ã½ºÅÛ

Áö¸à½º´Â Æú¸®½Ç¸®ÄÜ »ý»ê, ½Ç¸®ÄÜ À×°÷ ¹× ¿þÀÌÆÛ »ý»ê, žçÀüÁö ¹× ÆгΠÁ¦Á¶, ž籤 ¹ßÀü¼Ò±îÁö ¸ðµç ž籤 ¹ë·ùüÀο¡ °üÇÑ ÀÚµ¿È­ ¼Ö·ç¼ÇÀ» Á¦°øÇÏ°í ÀÖ´Ù(±×¸² 1). Áö¸à½º°¡ ž籤 ¹× ¹ÝµµÃ¼ »ê¾÷¿¡ ÃÖÃÊ·Î ±â¿©ÇÑ °ÍÀº ÃÊ°í¼øµµ ´Ü°áÁ¤ ½Ç¸®ÄÜÀ» »ý»êÇß´ø 1950³â´ë·Î °Å½½·¯ ¿Ã¶ó°£´Ù. ÀÌ·¯ÇÑ Çõ½ÅÀº »õ·Î¿î ¹ß¸íÀ¸·Î À̾îÁ®, ´Ù°áÁ¤ ½Ç¸®ÄÜ »ý»ê¿ë ¿­ºÐÇØ·ÎÀÎ Áö¸à½º ¹ÝÀÀ±â¸¦ ź»ý½ÃÄ×´Ù. ÇöÀç±îÁö ¾ç»êµÇ°í ÀÖ´Â °í¼øµµ Æú¸®½Ç¸®ÄÜÀÇ 90% ÀÌ»óÀÌ Áö¸à½º ¹ÝÀÀ±â¿¡¼­ »ý»êµÇ°í ÀÖ´Ù. ¿À´Ã³¯, Áö¸à½º´Â ºÐ»êÁ¦¾î½Ã½ºÅÛ, °íÀå¾ÈÀü½Ã½ºÅÛ, MES, »ê¾÷¿ë ¼¾¼­ ¹× °¡½º ºÐ¼®±â¿Í °¡½º Å©·Î¸¶Åä±×·¡ÇÇ, ¸ðÅÍ¿Í µå¶óÀ̺ê, Àü±â¼³ºñ µîÀÇ »ê¾÷¿¡ ƯȭµÈ Æ÷Æ®Æú¸®¿À¸¦ °ø±ÞÇÔÀ¸·Î½á Æú¸®½Ç¸®ÄÜ »ê¾÷¿¡ ¼±µµÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ´ã´çÇÏ°í ÀÖ´Ù(±×¸² 2).


CVD ¹ÝÀÀ±â ¿îÀüÀ» À§ÇÑ °øÁ¤Á¦¾î½Ã½ºÅÛ

CVD ¹ÝÀÀ±â´Â °í¼øµµ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ »ý»êÀÇ ÇÙ½É °øÁ¤À¸·Î ´ÙÀ½Ã³·³ ¿î¿µµÈ´Ù. ûÁ¤ºÐÀ§±â·Î À¯ÁöµÇ´Â ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ¿¡ Á÷°æ 8mm ³»¿ÜÀÇ ½Ç¸®ÄÜ ¸·´ë¸¦ ¡ûÇüÀ¸·Î ¿¬°áÇØ Àü±Ø¿¡ °íÁ¤ÇÑ´Ù. ½Ç¸®ÄÜ ¸·´ë¿¡ Àü·ù¸¦ È긮¸é¼­ ¹ÝÀÀ±â ³»ºÎ·Î ¹ÝÀÀ°¡½º¸¦ °ø±ÞÇÏ¸é ½Ç¸®ÄÜ ¸·´ë Ç¥¸é¿¡¼­ ½Ç¸®ÄÜÀÌ ÁõÂøµÇ´Â CVD ¹ÝÀÀÀ¸·Î ÀÎÇØ ¸·´ëÀÇ Á÷°æÀÌ Áõ°¡ÇÏ°Ô µÈ´Ù. ¾à 6ÀÏ°£ ¹ÝÀÀÀÌ ÁøÇàµÇ¾î ¸·´ëÀÇ Á÷°æÀÌ 150~200mm Á¤µµ·Î Áõ°¡ÇÏ¸é ¹ÝÀÀÀ» Á¾·áÇÑ´Ù. ÀÌ ±â¼úÀº ¹ÝÀÀ±âÀÇ ½ºÅ¸Æ®¾÷, ÁõÂø¹ÝÀÀ, ¼Ë´Ù¿îÀ» ªÀº ½Ã°£¿¡ ¹Ýº¹Çϴ ȸºÐ½Ä °øÁ¤À̶ó´Â °Í°ú Àü·Â »ç¿ë·®ÀÌ ¸¹´Ù´Â ´ÜÁ¡¿¡µµ ºÒ±¸ÇÏ°í, ±â¼úÀûÀ¸·Î ¼º¼÷µÈ ¹æ¹ýÀ̱⠶§¹®¿¡ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ½ÃÀå¿¡ ÁøÀÔÇϱâ À§Çؼ­ ¿ì¼±ÀûÀ¸·Î °í·ÁµÇ´Â ¹æ¹ýÀÌ´Ù. Áö¸à½º´Â Æú¸®½Ç¸®ÄÜ CVD ¹ÝÀÀ±â¿¡ ƯȭµÈ ÀÚµ¿È­ ¹× Àü±â ¼³ºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÀÌ Á¦Ç°±ºÀº SIMATIC PCS 7 °øÁ¤Á¦¾î½Ã½ºÅÛ, °è±â ¹× ¿Â¶óÀÎ °¡½º Å©·Î¸¶Åä±×·¡ÇǸ¦ Æ÷ÇÔÇÑ´Ù.

ÇÁ·Î¼¼½º »ê¾÷À» À§ÇØ Æ¯º°È÷ ¼³°èµÈ Áö¸à½ºÀÇ SIMATIC PCS 7 °øÁ¤Á¦¾î½Ã½ºÅÛÀº CVD ¹ÝÀÀ±â Á¦¾îÀÇ ÇÙ½É ¿ä¼ÒÀÌ´Ù. CVD ¹ÝÀÀ±â ¿îÀüÀ» À§ÇÑ SIMATC PCS 7 È­¸éÀÇ ¿¹¸¦ ±×¸² 3¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù. SIMATC PCS 7Àº ¹Ýº¹µÇ´Â ½ºÅ¸Æ®¾÷-ÁõÂø¹ÝÀÀ-¼Ë´Ù¿î ½ÎÀÌŬÀÇ ÀÚµ¿È­¸¦ À§ÇØ Sequential Function Chart(SFC)¸¦ Àû¿ëÇß´Ù. Áö¸à½ºÀÇ SFC´Â Ç÷οìÂ÷Æ® ÇüÅÂÀ̱⠶§¹®¿¡ ȸºÐ½Ä ¹ÝÀÀ±âÀÇ ÀÚµ¿È­¿¡ ÀûÇÕÇϸç, Á÷°üÀûÀÎ ÀÎÅÍÆäÀ̽º¸¦ °®°í ÀÖ¾î ÀÛ¾÷ÀÚµéÀÌ Á÷°üÀûÀ¸·Î ÀÌÇØÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀåÁ¡À» °®°í ÀÖ´Ù.

ÇÑÆí ¹ÝÀÀ±âÀÇ ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú ¼Ë´Ù¿î¿¡ »ç¿ëµÇ´Â ¼³Á¤°ªµéÀ» ÆĶó¹ÌÅͼÂÀ¸·Î °ü¸®ÇØ, ·¹½ÃÇÇ¿¡ µû¶ó ´Ù¸¥ ¿îÀü Á¶°ÇÀ» °ü¸®Çϱ⠽±°Ô ±¸¼ºÇß´Ù. ¶ÇÇÑ ÀÛ¾÷ÀÚµéÀÌ ÃÖÀû ½ºÅ¸Æ®¾÷°ú ¼Ë´Ù¿î ¿Âµµ ÇÁ·ÎÇÊÀ» ã¾Æ ÀÔ·ÂÇÏ°í ¿î¿µÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã°¢Àû µµ±¸¸¦ °³¹ßÇØ Àû¿ëÇß´Ù.

CVD ¹ÝÀÀÀÇ Æ¯Â¡ Áß Çϳª´Â °íü»ó Ç¥¸é¿¡¼­ ÀϾ´Â Gas-Solid ¹ÝÀÀÀÌ´Ù. µû¶ó¼­ ¹ÝÀÀ Ãʱ⿡ Ç¥¸éÀûÀÌ ÀÛ¾Æ ÇÊ¿äÇÑ ¿ø·á±âüÀÇ ¾çÀÌ Àû°í, ¹ÝÀÀÀÌ ÁøÇàµÊ¿¡ µû¶ó Ç¥¸éÀûÀÌ Ä¿Áö¸é¼­ ¿ø·á±âüÀÇ ¾çµµ Ä¿Áö°Ô µÈ´Ù.

Áö¸à½º´Â ½Ã°£¿¡ µû¸¥ ÃÖÀûÀÇ ¿ø·á ±âü °ø±Þ·®À» ÀÔ·ÂÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ½Ã°¢Àû µµ±¸¸¦ °³¹ßÇØ Á¦°øÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ¶óÀ̺귯¸® ÀÌ¿Ü¿¡ Áö¸à½ºÀÇ SIMATIC PCS 7Àº È­ÇÐ ¶óÀ̺귯¸®, ¼öó¸® ¶óÀ̺귯¸®, APC ¶óÀ̺귯¸® µîÀ» Á¦°øÇØ °í°´ÀÇ ´Ù¾çÇÑ ¿ä±¸»çÇ×À» ÃæÁ·ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

CVD ¹ÝÀÀ±â¿¡ Àû¿ëÇÒ ¼ö ÀÖ´Â ÀüÇüÀûÀÎ SIMATIC PCS 7 ¾ÆÅ°ÅØó Áß Çϳª¸¦ ±×¸² 4¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù. ¿©·¯ Á¾·ùÀÇ CPU Áß¿¡¼­ Áß°£±Þ ¿ë·®ÀÇ 414F 1´ë·Î ¹ÝÀÀ±â 1´ëÀÇ Á¦¾î ½Ã½ºÅÛ ¹× ¾ÈÀü ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇß´Ù. Àü·ÂÁ¦¾î±â¿Í °°Àº ÆÐÅ°Áö À¯´ÖÀº PROFIBUS-DP¸¦ ÅëÇØ ÀÎÅÍÆäÀ̽º ÇÑ´Ù. ÀÌ¿Í °°Àº ¾ÆÅ°ÅØó´Â À¯Áöº¸¼ö ¹× ¼öÆò È®ÀåÀÌ ¿ëÀÌÇÑ ÀåÁ¡À» °®°í ÀÖÀ¸¸ç, µ¶ÀÏ ¹× À¯·´ÀÇ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ Á¦Á¶»çµéÀÌ ¼±È£ÇÏ´Â ¹æ½ÄÀÌ´Ù.

CVD ¹ÝÀÀ±â¸¦ À§ÇÑ ´Ù¸¥ SIMATIC PCS 7 ¾ÆÅ°ÅØó¸¦ ±×¸² 5¿¡ Ç¥½ÃÇß´Ù. °í¿ë·®ÀÇ 417H ÀÌÁßÈ­ CPU·Î ¿©·¯ ´ëÀÇ ¹ÝÀÀ±â¸¦ Á¦¾îÇÏ´Â ±¸Á¶ÀÌ´Ù. ÀÚµ¿ À̺¥Æ® µ¿±âÈ­¸¦ ÅëÇÑ ¡®Bumpless Switchover¡¯ ±â´ÉÀ¸·Î ½Ã½ºÅÛÀÇ °¡¿ë¼º Ãø¸é¿¡¼­ ÀåÁ¡À» °®°í ÀÖ´Ù.


ÃÖÀûÀÇ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ »ý»ê °øÁ¤À» À§ÇÑ Áö¸à½ºÀÇ ¼Ö·ç¼Ç

Áö¸à½º´Â Àü ¼¼°è¿¡¼­ À¯ÀÏÇÏ°Ô Æú¸®½Ç¸®ÄÜ¿¡ ƯȭµÈ ¿Â¶óÀÎ °¡½º Å©·Î¸¶Åä±×·¡ÇǸ¦ Á¦°øÇÑ´Ù. Áö¸à½ºÀÇ MAXUM ed II ¿Â¶óÀÎ °¡½º Å©·Î¸¶Åä±×·¡ÇǸ¦ ÀÌ¿ëÇØ SiH4, H3SiCl, H2SiCl2, HSiCl3, SiCl4, HCl, H2, N2, CO2, PCl3 ¿Í °°Àº ±âüÀÇ ³óµµ¸¦ ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ ³óµµ µ¥ÀÌÅ͸¦ °øÁ¤ Á¦¾î ½Ã½ºÅÛ°ú ¿¬°èÇÒ °æ¿ì, ÃÖÀûÀÇ ¿îÀü Á¶°ÇÀ» ºü¸¥ ½Ã°£¿¡ ãÀ» ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù.

Áö¸à½º´Â Æú¸®½Ç¸®ÄÜ »ý»ê °øÁ¤ÀÇ ÀÚµ¿È­ ½Ã½ºÅÛ¿¡ °üÇÑ ¸¹Àº ·¹ÆÛ·±½º¸¦ °®°í ÀÖ´Ù. Áö¸à½º°¡ °ø±ÞÇÏ´Â Àü±â¼³ºñ´Â Æú¸®½Ç¸®ÄÜ °øÁ¤À» À§ÇØ ¸ÂÃãÇüÀ¸·Î Á¦ÀÛµÇ¾î °í°´ÀÌ ¿ì¼öÇÑ Ç°ÁúÀÇ Á¦Ç°À» »ý»êÇÒ ¼ö ÀÖµµ·Ï ÇÑ´Ù. Áö¸à½ºÀÇ SIMATIC PCS 7À» ÀÌ¿ëÇÏ¸é °ËÁõµÈ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ ¶óÀ̺귯¸®¿Í °³¹ß ÅÛÇø´À» ÀÌ¿ëÇØ ºü¸¥ ½Ã°£¿¡ ÃÖÀûÀÇ Æú¸®½Ç¸®ÄÜ °øÁ¤ÀÚµ¿È­ ½Ã½ºÅÛÀ» ±¸ÃàÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.

 

SOLAR TODAY ÆíÁý±¹ / Tel. 02-719-6931 / E-mail. st@infothe.com

[SolarToday ()]

[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¼Ö¶óÅõµ¥ÀÌ, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]

SolarTodayÀÇ ´Ù¸¥±â»ç º¸±â
iconÀαâ±â»ç
±â»ç ´ñ±Û 0°³
Àüüº¸±â
ù¹ø° ´ñ±ÛÀ» ³²°ÜÁÖ¼¼¿ä.
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
¿©¹é
Back to Top