나노신소재, 스퍼터 공정 타깃의 TCO

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SolarToday
승인 2013.01.10 17:32
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특히, 나노신소재에서 독자 개발한 금속산화물의 나노 미립자 제조 및 콜로이드화 기술을 이용해 스퍼터 공정에 사용되는 타깃 소재를 생산하고 있다. TCO(Transparent Conductive Oxide Target)는 자체 개발한 고순도의 나노 파우더를 기반으로 CIGS 박막 태양전지에 사용되는 ITO, ZnO(Zinc Oxide), AZO(Al doped Zinc Oxide) 스퍼터링 타깃 소재를 국산화해 국내외 박막 태양전지 제조업체에 양산 공급하고 있다.

고순도의 파우더 생산부터 진행해 나노기술에 의한 다양한 조성비의 타깃 제작이 가능하며, 제품의 밀도가 높아 스퍼터 공정 중 노즐 발생이 적고 수명이 긴 장점이 있다. 뿐만 아니라 고객의 요청에 따라 다양한 사이즈 및 형태(Planar & Rotary)로 제작이 가능하다.

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