ÃÖ±Ù MEM ÆÕ¿¡¼ Àα⸦ ²ø°í ÀÖ´Â ÀÌ È¸»çÀÇ ÆòÅºÈ ±â¼úÀº ƯÈ÷ 0.25um ÀÌÇÏÀÇ ±â¼ú¿¡¼ ÇʼöÀûÀÎ ¿ä¼ÒÀÌ´Ù. MEMS´Â »õ·Î¿î ¼ÒÀ縦 »ç¿ëÇÏ°Ô µÇ¹Ç·Î ½½·¯¸®¿Í ÆÐµå µîÀ» °¥¾ÆÁÖ¾î¾ß Çϴµ¥ ¿Ïº®ÇÑ ¼Ö·ç¼ÇÀº ¾Æ´Ï´õ¶óµµ ±× Á߿伺ÀÌ Á¡Á¡ Ä¿Áö´Â Ãß¼¼ÀÌ´Ù.
¡®E460¡¯ ¸ðµ¨Àº R&D¿ëÀ¸·Î¼ ¼öµ¿½Ä ·ÎµùÀ» °¡ÁüÀ¸·Î½á °¡°Ý °æÀï·ÂÀÌ ÀÖÀ¸¸ç, 200mm ¿þÀÌÆÛ±îÁö ó¸®ÇÏ´Â ´É·ÂÀ» Áö´Ñ ¡®E550¡¯ ¸ðµ¨Àº Ä«¼¼Æ®°£ ¿þÀÌÆÛ À̼ÛÀÌ °¡´ÉÇÑ Æ¯Â¡À» Áö´Ò »Ó ¾Æ´Ï¶ó ½À½Ä ·Îµùµµ ó¸®ÇÏ´Â °æÀï·ÂÀ» Áö´Ñ´Ù. ¡®Pcox 200 S¡¯ ¸ðµ¨Àº ¸ðµâ·¯ ¹æ½ÄÀÇ Àåºñ·Î¼ ¼öµ¿½Ä ·Îµù/¾ð·ÎµùÀÌ ¸ðµÎ °¡´ÉÇѵ¥ ÀÚµ¿ ·Îµù ¸ðµâµµ ÇÔ²² ¿É¼ÇÀ¸·Î Á¦°øµÈ´Ù. ÀÌ È¸»çÀÇ ÇÁ¶û½º ³» °í°´À¸·Î´Â ·¹Æ¼(Leti) µî ¿¬±¸±â°üÀ» ºñ·ÔÇØ Ãֱ٠ž籤 ºÐ¾ß·Î±îÁö ºñÁî´Ï½º¸¦ È®´ëÇÏ°í ÀÖ´Â SOITE, ±×¸®°í CNRS¿Í ±×·¹³ëºí Áö¿ªÀÇ ST °øÀå µîÀÌ´Ù. ¾Æ½Ã¾Æ¿¡¼´Â »ï¼º, Æä¾îÂ÷ÀϵåÄÚ¸®¾Æ¸¦ ºñ·ÔÇØ Áß±¹ÀÇ ÀϺΠ´ëÇп¡µµ Àåºñ¸¦ °ø±ÞÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, µ¶ÀÏ, ij³ª´Ù µî¿¡µµ °í°´»ç¸¦ È®º¸ÇØ ¾ÈÁ¤ÀûÀÎ ºñÁî´Ï½º¸¦ ÁøÇà ÁßÀÌ´Ù.
ÀÌ È¸»çÀÇ ÃÖ±Ù ¸ðµ¨Àº ÀÎÅͳÝÀ¸·Î À¯Áöº¸¼ö ¼ºñ½º°¡ °¡´ÉÇѵ¥ Áß±¹°ú Àεµ°¡ ÁÖ¿ä ½ÃÀåÀÌ´Ù. MEMS ºÐ¾ß·Î´Â ½ºÀ§½º¸¦ Áß½ÉÀ¸·Î ²ÙÁØÈ÷ ¿µ¾÷, Æ®·¹ÀÌ´× µî ¼ºñ½º¸¦ Á¦°øÇÏ°í ÀÖÀ¸¸ç, Á¶¸¸°£ CMP Ŭ¸®´× ¼Ö·ç¼Ç ºÐ¾ß¿¡µµ »õ·Î¿î ¹ßÇ¥¸¦ ÇÒ ¿¹Á¤ÀÌ´Ù.
Äڱ׳ؽº ºñÀü½Ã½ºÅÛÀÇ SI(System Integrator : ½Ã½ºÅÛ ÅëÇÕ¾÷ü)·Î¼ ±Û·Î¹ú ºñÁî´Ï½º¸¦ °ÈÇÏ°í ÀÖ´Â ÀÌ È¸»ç´Â ¿ÃÇظ¦ ±âÁ¡À¸·Î ž籤 ºÐ¾ß ¿µ¾÷À» È®´ëÇÒ °èȹÀÌ´Ù. ¼Ö¶ó¼¿ Á¦Á¶¾÷üÀÇ °æ¿ì ¼¿ ÇÁ¸°ÆÃÀÇ Ç°ÁúÀ» ºñÀü½Ã½ºÅÛÀ¸·Î ÄÜÆ®·ÑÇÏ´Â ¿µ¾÷À» ´Ã¸°´Ù´Â °èȹÀε¥, ±×·¹³ëºí Áö¿ªÀÇ Æ÷Åä¿ÍÆ®(Photowatt)¿Í ÀÌ¹Ì ÆÄÆ®³Ê½ÊÀÌ µÇ¾î ÀÖÀ¸¸ç, ÃÖ±Ù¿¡´Â Áö¸à½ºÀÇ ¼Ö¶ó ºÎ¼µµ °í°´À¸·Î ¿µÀÔÇß´Ù.
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