생산량 극대화, 재료비 절감, 인라인 자동화 시스템 제공 가능

하 상 범 기자

아바코가 생산하는 스퍼터 장비는 아바코가 자랑하는 대표적 FPD 설비 중의 하나다. 지난 2009년 국산화에 성공해 꾸준하게 성능개량을 거듭했다. 박막 태양전지 공정 중 셀 단계 장비로 전극, 전구체 및 투명 전도층 증착에 활용 가능하다. 차세대일류상품에 선정될 정도로 뛰어난 기술력을 인정받았으며, 이후 지속적인 기술개발을 통해 평판 디스플레이 분야뿐만 아니라 솔라 및 박막 코팅 분야까지 다방면에서 성능을 자랑하고 있다. 스퍼터는 박막형 태양전지 시스템으로 산화물 및 금속물질을 진공상태에서 증착한다. 진공 중에 형성된 플라즈마 내 가스 이온이 기판에 증착되는 물리적 박막 증착 공법을 기반으로 하고 있다. CIGS R&D, Vertical In-line, Horizontal Cluster 방식으로 운전할 수 있으며, TFT 어레이 공정의 ITO 코팅과 메탈전극, 컬러 필터의 블랙 매트릭스 형성 등에 주로 사용된다.

박막 품질 개선과 타깃 사용효율 극대화

스퍼터는 SSI 시리즈와 SSC 시리즈로 구분된다. SSI 시리즈는 버티컬 인라인 타입으로 비접촉반송 시스템을 통해 챔버 내부의 파티클을 최소화하며, Cathode부의 자석을 이동시켜 박막 품질 개선과 타깃 사용효율을 극대화한 제품이다. 기판 대응 크기는 5세대 글라스 이상이며, Tact Time은 60sec 이하, Heating 온도는 기판온도 기준으로 250℃이다. SSC 시리즈는 5세대 글라스 이상에서 사용할 수 있으며, Tact Time은 80sec 이내이다. Heating 온도는 기판온도 기준으로 150℃이며, 온도 균일도는 15℃ 이내를 기록하고 있다.

아바코는 끊임없는 연구개발과 기술혁신을 통해 FPD 분야 설비 전문 제조업체로 성장하고 있으며, 차세대 디스플레이로 각광받고 있는 OLED 분야에서도 신규장비 개발에 성공했다. TFT-LCD 산업에서 축적한 진공증착 기술을 활용해 신재생에너지 기술개발사업을 수행하고 있으며, 박막형 태양전지 장비 부분에서도 사업화에 성공해 시장 개척에 나서고 있다. 미래 성장 동력으로 각광받고 있는 박막 태양전지와 OLED 시장에도 대응할 수 있는 기반을 마련했다는 평가를 받고 있다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

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