웨이퍼 이상 유무 사전에 파악해 생산성 향상하는 장비

하 상 범 기자

포틱스의 Wafer Incoming Inspection System은 웨이퍼 생산 과정에서 실시간으로 웨이퍼의 상태를 체크해 불량 웨이퍼를 가려내는 장비다. 공정 흐름에 맞춰 생산라인에 투입할 수 있으며, 문제가 발생한 웨이퍼는 별도의 Reject Bin으로 분류되고 정상인 웨이퍼는 정상적인 생산라인으로 이동된다.

이 시스템은 156×156mm 크기의 웨이퍼 생산을 위한 장비이며, 한 시간당 3,600개의 웨이퍼를 검사할 수 있다. 또한 Batch Type 외 Belt & Robot을 이용한 인라인 설치도 구현 가능하다.

제어방식은 PC에 기반한 콘트롤러를 사용하며, 상하류 인터페이스가 적용돼 수평반송 방식으로 제품을 검사한다. 반송속도는 1분당 550mm이며, 웨이퍼는 장비 내부에서 Flat Belt를 통해 이동된다.

Wafer Incoming Inspection System은 최대 400장의 웨이퍼를 적치할 수 있는 Stack Magazine을 Pick Up Position으로 이동시켜 1장씩 Picker로 이동시켜 웨이퍼 이송용 플랫 벨트로 공급한다. 이송된 웨이퍼를 2장씩 겹침 검사를 통해 검사한 후 이상 유무에 따라 분류에 들어간다. 이 시스템을 도입한 사업장은 국내외 총 80여개 사업장에 이르며, 도입된 제품은 태양광 분야를 선도하는 사업장에서 맹활약하고 있다.

포틱스는 반도체·태양전지·PCB-FPCB 제조용 장비를 개발 생산하고 있으며, 기술집약적 첨단 제품을 공급하고 있다. 2005년부터 PV 웨이퍼 및 태양전지 제조에 필요한 자동화 장비를 독자 기술로 개발해 세계 유수 기업들에게 공급해 오고 있다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

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