박막 태양전지의 대형화에 맞춘 검사장비 소개

엘림글로벌은 독일 SENTECH의 제품을 국내에 공급하고 있다. SENTECH의 최신 장비인 SENSOL은 박막 태양전지의 대형화에 맞춰 대면적 글라스 기판 위에 증착된 박막을 다양한 센서를 이용해 맵핑하고 분석하는 장비다.

엘림글로벌 김한억 팀장은 “SENSOL은 한 번의 분석으로 박막 두께, 굴절률, 반사율, 투과율, Haze, 면 저항, Raman 분석 결과를 얻을 수 있는 통합 시스템으로, 측정에 필요한 센서를 선택해서 장착할 수 있다. 또한, 하나의 레시피로 운용되는 맵핑 소프트웨어는 각 특성 분석을 모두 포함해 관리자로 하여금 원-버튼 운용을 가능토록 한다”고 소개했다. 이어  “SENSOL은 리플렉토미터, 트랜스미터, 4PP 등의 측정센서를 혼합한 장비로 한 번의 맵핑으로 여러 분석 결과를 얻을 수 있기 때문에 시간단축과 편리한 사용감을 제공해 품질관리 분야에서 크게 각광받고 있다”고 덧붙였다.  

엘림글로벌은 이 밖에 PECVD, ALD, RIE-ETCHER, LIBS, Raman, Mini SEM 등 반도체, 디스플레이 및 원천소재 분석 및 R&D에 필요한 분석기기도 전시해 참관객들의 높은 관심을 받았다.

현재 박막 태양전지 분야로 시장이 옮겨가는 추세를 보이고 있는데, 삼성SDI가 국내 최초로 SENTECH의 대면적 박막 분석 장비를 이용해 박막의 품질을 관리하고 있다. 엘림글로벌은 제품 공급뿐 아니라 장비 서비스도 직접 담당해 고객이 장비를 사용하는 데 있어 불편이 없도록 최선을 다하고 있다.

엘림글로벌은 결정질 태양전지 및 박막 태양전지 분야의 박막 분석장비 공급을 통한 품질관리 분야를 주력으로 하고 있다. 앞으로 고객들의 연구 및 품질관리에 필요한 장비들을 널리 알리고 공급하면서 많은 지원이 가능하도록 서비스 질을 향상시키는 노력을 경주할 방침이다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

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