고성능 태양광 웨이퍼 생산 위한 최적의 초음파 세정 장비

하 상 범 기자

듀라소닉을 대표하는 태양광 초음파 세정기(Solar Wafer Finer Cleaner)는 ‘잉곳/블록 세정기’, ‘Pre 세정기’, ‘Final 세정기’ 등이다.

잉곳/블록 세정기는 단결정 혹은 다결정의 실리콘 잉곳 혹은 절단된 Top & Tail을 세척하는 장비다. 156×156mm 외 최대 500mm까지 세척할 수 있다. 전자동 방식으로 대량 세척을 할 수 있으며, 다조식 방식의 여러 단계의 초음파 세척 및 린스공정도 사용할 수 있다.

세척된 잉곳은 열풍건조 방식으로 건조되며, 최적화된 시스템 구성으로 효율적인 세제 및 폐수관리까지 가능해진다. Users Interface가 설치돼 사용 환경에 따라 최적의 프로그램으로 변경할 수 있는 것도 잉곳/블록 세정기의 장점이다.

Pre 세정기는 절단과정에서 오염된 잉곳 세척 및 박리 공정을 포함하는 장비다. 단결정 혹은 다결정의 SI 잉곳이 적용 대상이다. Pre 세정기는 스프레이 샤워 및 초음파 세척이 적용되며, 건조공정에는 온순수 혹은 약액이 사용된다. 전자동 방식으로 대량의 잉곳을 세척할 수 있으며, 다조식 방식의 노즐샤워, 초음파 세척, 박리공정을 포함하고 있다.

Final 세정기는 Pre 세정을 거친 웨이퍼를 준비된 카세트에 담아 세정, 린스, 건조공정을 진행한다. 156×156mm 외 180Micro 규격의 잉곳 세척에 사용할 수 있으며, 세정에 소요되는 시간은 5분이다. 세정 과정에서 모든 이송이 별도로 설치된 로봇을 통해 이뤄지며, 옵션으로 Auto Dosing Unit과 안전장치인 Over/Level/Limit Sensor, Interlock을 설치했다.

듀라소닉은 1990년 진동자(Bolted Langevin Type Transducers)를 국산화하는데 성공했다. 듀라소닉 초음파 세정 제품의 수출지역은 일본, 북미, 남미, 유럽 등 세계 20여개국으로 각국에서 장비 제작 수준과 기술을 인정받고 있다.

듀라소닉은 판매된 제품의 사후관리에도 만전을 기하고 있다. 국내 고객에 대해서는 지역과 상관없이 24시간 내 현장 방문을 통한 A/S에 나서고 있으며, 아시아 지역의 경우도 48시간 안에 산업 현장으로 초음파·기계 및 배관·시스템·PLC 분야 직원을 직접 파견, 사후 관리에 나서 사용자들로부터 큰 호응을 얻고 있다.

SOLAR TODAY 하 상 범 기자 (st@infothe.com)

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