ÆíÁýÀÚ ÁÖ
µ¿±â(Motivation)
ÈçÈ÷ ¾ð±ÞµÇµíÀÌ, ´Ü°áÁ¤Áú(c-Si) ±â¹ÝÀÇ Å¾çÀüÁö´Â PV ÀüÁöÀÇ Àü ¼¼°è »ý»ê·®ÀÇ ¾à 80% Á¤µµ¸¦ Â÷ÁöÇÑ´Ù1). ´ëºÎºÐ ½Ç¸®ÄÜÁúȹ°(SiN)À» Àü¸éÀÇ ¹Ý»ç¹æÁö¸·(AR) ÄÚÆÃÀ¸·Î, ±×¸®°í Àü¸é°ú Èĸ鿡 Æнú£À̼Ç(Passivation)¿ëÀ¸·Î »ç¿ëÇÑ´Ù. ÄÚÆÃÀº ³ÐÀº ¸éÀû¿¡ ´ëÇØ ÀÌ·ïÁö¸ç(ÁÖ·Î PECVD), ºñÀüµµ¼º Ư¼ºÀ¸·Î ÀÎÇØ ÀÌ Ãþ(SiN Layer)¿¡ ´ëÇÑ ¼±º°ÀûÀÎ Àç°³¹æÀÌ ´ÙÀ½ °øÁ¤ÀÎ ½ºÅ©¸°ÇÁ¸°ÆÃ(Screen-priniting) ȤÀº ¸ÞÅ»¸®Á¦À̼Ç(Metallization) ÄÚÆÃÀ» ÀÌ¿ëÇÑ Àü±ØÇü¼º(Electrical Contacting)ÀÇ Áغñ´Ü°è¸¦ ÇÊ¿ä·Î ÇÑ´Ù 2), 3). ±âº»ÀûÀÎ ±¸Á¶´Â ±×¸² 1°ú °°´Ù.
·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹Ú¸· Á¦°Å´Â ¿©·¯ ÀÌÁ¡ÀÌ ÀÖ´Ù. ±â°èÀûÀÎ Á¢ÃËÀÌ ¾ø´Â ÀÌÀ¯·Î µµ±¸ÀÇ ¸¶¸ð°¡ ¾ø´Â Á¦°Å ¹æ½ÄÀÌ´Ù. ÀÌ ¹æ½ÄÀº ¼±º°ÀûÀ¸·Î, ±×¸®°í ¿þÀÌÆÛ »ó¿¡¼ ƯÁ¤ ¹ÝÀÀÁöÁ¡¿¡¸¸ ¿¡³ÊÁö¸¦ Àü´ÞÇϸç, ¶ÇÇÑ ±¸µ¿ ½Ã½ºÅÛÀ» ÃÖ¼ÒÈÇÒ ¼ö ÀÖ¾î¼ °í¼Ó°¡°øÀÌ °¡´ÉÇÏ´Ù(ÀϹÝÀûÀÎ PV ¿þÀÌÆÛ Å©±â¿¡¼´Â ÀÛ°í °¡º¿î ºö(Beam) ±¼Àý¿ë °Å¿ïÀ» ÀÌ¿ëÇÏ´Â °¥º¸ ½ºÄ³³Ê(Glavo Scanner) ¸¸À¸·Î ±¸µ¿½Ã½ºÅÛÀÌ ÀÌ·ïÁø´Ù). ±×¸®°í ÇÁ·Î¼¼½º ÀÚµ¿È¿¡ µµ¿òÀÌ µÇ´Â °í¼Ó Á¦¾î¿Í ·¹ÀÌÀú ÆĶó¹ÌÅÍ(Parameters)ÀÇ ÀçÇö¼ºÀ» ½±°Ô °¡´ÉÇϵµ·Ï ÇÑ´Ù.
¹Ú¸· °øÁ¤ Áß¿¡¼ ÇϳªÀÇ ÁÖ¿ä ¿ä±¸»çÇ×Àº ¿ëÇØ(Melting)¿¡ ÀÇÇÑ °ÝÀÚ(Lattice) ¼Õ»óÀ» ¸·´Â °ÍÀÌ´Ù. ¿ëÇØ È¿°ú´Â ½Ç¸®ÄÜ¿¡¼ ¿Àüµµ¿¡ ÀÇÇØ ¹ß»ýÇÑ´Ù. ÀÌ È¿°úµéÀº ÇÇÄÚÃÊ(ps) ȤÀº ÆèÅäÃÊ(fs)ÀÇ ÆÞ½º(Pulse) Áö¼Ó½Ã°£(Duration)À» °¡Áø ±ØÃÊ´Ü(Ultra Short) ÆÞ½º ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ÃÖ¼ÒÈ ÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ °æ¿ì¿¡´Â ºñ¼±Çü4) Èí¼ö°¡ ÀÌ·ïÁø´Ù. ÀÌ°ÍÀº ÃÖ´ë ¼¼±â(Peak Intensity)ÀÇ Á¦°ö°ú Èí¼ö °è¼ö(Absorption Coeffi cient) ¥á°¡ Áß¿äÇÑ ¿ä¼Ò·Î ÀÛ¿ëÇÑ´Ù´Â °ÍÀ» ÀǹÌÇÑ´Ù. ¼¼±â°¡ ¾à 1010W/cm2À» ÃÊ°úÇÏ´Â °æ¿ì¿¡´Â ±ØÃÊ´Ü ÆÞ½º ·¹ÀÌÀú°¡ È¿À²ÀûÀÌ´Ù.
ÇöÀç ž籤»ê¾÷¿¡¼´Â UV(Àڿܼ±) ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀú°¡ ¼Ò°³µÇ¾ú´Ù. UV º¯È¯¿ë Å©¸®½ºÅаú ºö Àü´Þ¿ë ¿ÉƽÀÇ ¼ö¸í ¹®Á¦·Î ÀÎÇØ 1,020~ 1,070nm ¿µ¿ªÀÇ NIR(±ÙÀû¿Ü¼±) ·¹ÀÌÀú°¡ ÀåÁ¡À» °¡Áø´Ù.
±ÙÀû¿Ü¼± ÆÄÀåÀÇ Èí¼öÀ²Àº Àڿܼ±º¸´Ù ´õ ³·Áö¸¸(±×¸² 2) ÆèÅäÃÊ ÆÞ½ºº¸´Ù ªÀº ÆÞ½º Áö¼Ó½Ã°£À¸·Î ÀÎÇØ º¸´Ù ³ôÀº ºñ¼±ÇüÀÇ Èí¼öÀ²À» ¾òÀ» ¼ö ÀÖ´Ù. ÀÌ·¸°Ô Çؼ ÆèÅäÃÊ Á¦°ÅÀÇ È¿°ú¸¦ »ìÆ캸°Ô µÇ¾ú´Ù.
ÆèÅäÃÊ ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ ¹Ú¸· Á¦°Å
ºñ¼±ÇüÀÇ Èí¼ö °øÁ¤¿¡¼´Â 10ÇÇÄÚÃÊ ÀÌÇÏÀÇ ÆÞ½º Áö¼Ó½Ã°£ÀÌ ÀϹÝÀûÀÌ´Ù. ÀÌ ½Ã°£ ³»¿¡¼ °íÀüÀûÀÎ(¿ÀûÀÎ) Á¦°Å ¹æ½ÄÀÎ ¿¹¿¡¤¿ëÇØ¡¤Áõ¹ßÀº ´Ù¸¥ È¿°úµé·Î °Ç³Ê¶Ù°Ô µÈ´Ù. »ùÇà ³»ÀÇ ÀϺΠÀÚÀ¯ ÀüÀÚµéÀº Èí¼öÀÇ Áß½ÉÀûÀÎ ¿ªÇÒÀ» ÇÏ°í ¾Æ¹ß¶õü ij½ºÄÉÀ̵å(Avalanche Cascade) ÇÁ·Î¼¼½º¿¡ µû¶ó ´Ù¸¥ ÀüÀÚµéÀ» ´õ¿í ´õ »¡¸® ¿©±â½ÃŲ´Ù. ¶ß°Å¿î ÀüÀÚµéÀº ¿©±â(Excitation) ÁöÁ¡ÀÇ ÁÖº¯¿¡¼ ¼Ò¸êµÇ°í ´Ù¸¥ ÀüÀÚµéÀÇ ºó¹øÇÑ Ãæµ¹·Î ¿Áß¼ºÀÚÈ(Thermalize) µÈ´Ù. ÀÌ·¯´Â µ¿¾È ¶ß°Å¿î ÀüÀÚÀÇ ¿Âµµ¿Í Â÷°¡¿î °ÝÀÚÀÇ ¿Âµµ°¡ ÀÖ´Ù. ÃÖÁ¾ÀûÀ¸·Î ÀüÀÚµéÀº 0.5~5ÇÇÄÚÃÊ À̳»¿¡ °ÝÀÚ¿¡ ¿¡³ÊÁö·Î º¯È¯µÇ°í °ÝÀÚÀÇ ¿Àüµµ¸¦ ½ÃÀÛÇÑ´Ù(¿Àüµµ´Â °ÝÀÚÀÇ ¿øÀÚ Áøµ¿ÀÇ °áÇÕÀ¸·Î ¹ß»ýÇÑ´Ù). ÀÌ°ÍÀº °ÝÀÚ È¿°úÀ̱⠶§¹®¿¡ ¿ëÇØ´Â ¿¡³ÊÁö°¡ º¯È¯ÀÌ µÉ ¶§±îÁö´Â ¹ß»ýÇÏÁö ¾ÊÀ» °ÍÀÌ´Ù.
¸¸¾à ÆÞ½ºÀÇ Áö¼ÓÀÌ ¾Õ¿¡ ¸»ÇÑ º¯È¯ ½Ã°£º¸´Ù ´õ ª´Ù¸é, 10ÇÇÄÚÃʺ¸´Ù ´õ ªÀº ½Ã°£ ¾È¿¡¼´Â ±¸¼ÓµÇÁö ¾ÊÀº ¶ß°Å¿î ÀüÀÚµéÀÌ ¹æÃâµÇ°í, ÀÌ ÀüÀÚµéÀº °ÝÀÚ ¿øÀÚµéÀÇ ÀüÇÏ Â÷Æó¸¦ °¨¼Ò½ÃŲ´Ù. ¸¸¾à Á¤Àü±â ¹Ý¹ß·ÂÀÌ ³Ê¹« Å©´Ù¸é, ¡®Äð·Õ ÀͽºÇ÷ÎÀü(Coulomb Explo sion)¡¯4) (Áï, ¿ëÇØ ¾ø´Â Á¦°Å)¿¡ ÀÇÇØ °ÝÀÚ°¡ ºÎºÐÀûÀ¸·Î ºØ±«µÈ´Ù. ÀÚÀ¯ÀüÀÚÀÇ À̵¿ ¹üÀ§°¡ 10ÇÇÄÚÃÊ À̳»¿¡¼´Â ´ë·« 10¥ìm ¾ÈÀ̱⠶§¹®¿¡ ÀÚÀ¯ÀüÀÚ¿¡ ÀÇÇÑ »ç½Ç»óÀÇ ¿Àüµµ´Â ¹«½ÃÇÒ ¼ö ÀÖ´Ù.
ÀÌ ¿ø¸®´Â µµÃ¼, ¹ÝµµÃ¼ ȤÀº À¯Àüü Ư¼ºÀ» °®´Â ¸ðµç ¹°Áú¿¡ Àû¿ëµÈ´Ù. ¹°Áú Ư¼º¿¡ µû¸¥ Â÷ÀÌ´Â ÁַΠƯÁ¤ÇÑ ÀüÀÚ-°ÝÀÚÀÇ ¿¡³ÊÁö º¯È¯ ½Ã°£¿¡ µû¶ó °áÁ¤µÈ´Ù.
±×·¡¼ ¿ì¸®´Â ±ÙÀû¿Ü¼± ÆèÅäÃÊ ÆÞ½º¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ SiNÃþ Á¦°Å¿¡ ´ëÇؼ »ìÆ캸¾Ò´Ù. ÀÌ ¿¬±¸¸¦ À§Çؼ ¿ì¸®´Â 400fs ÆÞ½º ÀÌÇÏ¿¡¼ 40¥ìJ ÆÞ½º ¿¡³ÊÁö¸¦ °¡Áø »ó¾÷¿ë ·¹ÀÌÀú(JenLas D2. Fs by JENOPTIOK)¸¦ »ç¿ëÇß´Ù. »ý»ê¼º¿¡ ´ëÇÑ ¿ä±¸´Â 100kHzÀÇ ¹Ýº¹À²·Î ¸¸Á·½Ãų ¼ö ÀÖ´Ù. ÁÖ¿ä °³¿ä´Â ±×¸² 3¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù.
·¹ÀÌÀúÀÇ CW-offset(ÆÞ½º¿Í ÆÞ½º »çÀÌ)·Î ¾ß±âµÇ´Â ¿ëÇØ È¿°ú¸¦ ¹æÁöÇϱâ À§ÇØ ¹ßÁø±â-ÁõÆø±â °áÇÕ¿¡ Á¤È®ÇÑ ¹èÄ¡¿Í ŸÀÌ¹Ö Á¶ÀýÀÌ ÇÊ¿äÇÏ´Ù. ÆèÅäÃÊ ÆÞ½ºÀÇ ÇüŸ¦ Á÷Á¢ÀûÀ¸·Î ÃøÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ´Â µðÅØÅÍ(Detector)°¡ ¾ø±â ¶§¹®¿¡ ÀÚ±â»ó°ü(Autocor relation) ÃøÁ¤ÀÌ ÃÖ÷´ÜÀÌ´Ù. ÀÌ °á°ú´Â ±×¸² 4¿¡ ³ª¿Í ÀÖ´Ù. ¿ì¸®´Â ·¹ÀÌÀúÀÇ CW-offsetÀ» ÃøÁ¤ÇÏÁö´Â ¾Ê¾ÒÁö¸¸ ±×¸² 8À» ÅëÇؼ ÀÌ°ÍÀÌ ÀÌ ¾îÇø®ÄÉÀ̼ǿ¡´Â Àǹ̰¡ ¾ø´Ù´Â °ÍÀ» È®ÀÎÇß´Ù(ÆÞ½º¿Í ÆÞ½º »çÀÌ¿¡¼ Á¦°ÅµÈ ÈçÀûÀÌ ¾ø´Ù).
¾îÇø®ÄÉÀÌ¼Ç °á°ú
JENOPTIK»çÀÇ 254mm ÃÊÁ¡±æÀÌ¿Í ÀϹÝÀûÀÎ PV ¼¿(156¡¿156mm2)ÀÇ Àüü Å©±â¸¦ °¡°øÇÒ ¼ö ÀÖ´Â 160¡¿160mm2 ÀÛ¾÷Çʵ带 °¡Áö´Â ¿ÉƽÀ» »ç¿ëÇß´Ù. ºöÀÇ ÇÁ·ÎÆÄÀÏÀº M2°¡ ¾à 1.2Á¤µµÀÎ °¡¿ì½º(Gaussian) ÇüÅÂÀÌ´Ù.
¾îÇø®ÄÉÀ̼ÇÀÇ °á°ú¸¦ ±×¸² 5¿¡¼ º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ÇϳªÀÇ ÆÞ½º·Î Á¦°ÅµÈ À§Ä¡¿¡¼´Â ´«¿¡ º¸ÀÌ´Â ¾î¶² ¿ëÇØ È¿°úµµ ¾ø´Â ¶Ù¾î³ Á¦°Å ÇüŸ¦ º¸¿©ÁØ´Ù.
¶ÇÇÑ Á¦°ÅµÈ À§Ä¡ÀÇ ¾ÆÁÖ ³¯Ä«·Î¿î °æ°è¸éÀ» ÁÖ¸ñÇØ¾ß ÇÑ´Ù. ±×¸² 6¿¡¼´Â ·¹ÀÌÀú ¿µÇâ¿¡ µû¸¥ Á¦°Å ¿µ¿ªÀÇ Áö¸§ º¯È¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù.
ÃÖ´ëÇÑ Àû¿ë °¡´ÉÇÑ ·¹ÀÌÀúÀÇ ¿µÇâÀº 0.35J/cm2ÀÌ´Ù. ÀÌ°ÍÀº ±¤ÇÐ Çö¹Ì°æ(500¹è È®´ë)À¸·Î °üÂûµÇ¾îÁö´Â ¿ëÇØ È¿°ú¿¡ ÀÇÇؼ Á¦ÇѵȴÙ. SEMÀ̳ª RBS°°Àº ±¤ÇÐÇö¹Ì°æº¸´Ù ´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ºÐ¼®Àº ÁøÇà ÁßÀ̸ç ÃßÈÄ¿¡ ¼Ò°³ÇÏ°Ú´Ù.
¸¸¾à ·¹ÀÌÀú ¿µÇâÀÌ ÀÓ°èÇÑ°èÄ¡º¸´Ù ¾Æ·¡¿¡¼ ÀÛ¿ëÇÑ´Ù¸é ¿ëÇظ¦ ¸·À» ¼ö ÀÖ´Ù(±×¸² 6).
Æú¸®½Ì 󸮰¡ µÇ¾îÀÖ´Â c-Si À§ÀÇ SiNÃþ¿¡ ´ëÇÑ ¿ëÇظ¦ Á¶»çÇÏ´Â °ÍÀº ½¬¿î ÀÏÀÌ ¾Æ´Ï¹Ç·Î KOH-¿¡ÄªµÈ ½Ç¸®ÄÜ(Si)ÀÇ Ç¥¸é¿¡ ÄÚÆÃµÈ SiNÀÇ Á¦°Å¿¡ ´ëÇØ »ìÆ캸¾Ò´Ù. ÀÌ ¿¡Äª °úÁ¤Àº ¼Ö¶ó¼¿ÀÇ Èí¼öÀ²À» Çâ»ó½ÃÄÑÁִ ǥÁØÀûÀÎ ¹æ¹ýÀ¸·Î ÇǶó¹ÌµåÇüÀÇ Ç¥¸éÀ» »ý¼ºÇÑ´Ù. »ùÇà ǥ¸é¿¡ ¾î±ß³ª°Ô »ý±â´Â ¹æÇ⼺À¸·Î ÀÎÇØ ¼¿ Ç¥¸é¿¡¼ žçºûÀÇ ÀԻ簢À» º¯È½ÃÄÑ ÁÖ¸ç, ÀÌ°ÍÀÌ ¼Ö¶ó¼¿ÀÇ È¿À²À» Áõ´ë½ÃŲ´Ù. ±×¸² 7¿¡¼´Â ¿øÇüÀÇ Á¦°ÅÁöÁ¡ ¾È¿¡¼ ¿ÏÀüÇÑ SiNÃþÀÇ Á¦°Å¿Í Ź¿ùÇÏ°í ³¯Ä«·Î¿î °æ°è¸éÀ» º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ¹Ì¼¼ ±¸Á¶°¡ º¸Á¸µÈ °ÍÀº ÀüÇô ¿ëÇØ°¡ ¾ø´Â Á¦°ÅÀÇ ÀÔÁõÀÌ´Ù.
·¹ÀÌÀúÀÇ ¿µÇâ Á¦¾à»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó ÆÞ½º ±æÀÌ ¶ÇÇÑ ¿ëÇظ¦ ¹æÁöÇÏ´Â °ÍÀ¸·Î °í·ÁµÈ´Ù. ±×·¡¼ ¿ì¸®´Â ºñ½ÁÇÑ ÆÄÀå ¿µ¿ª¿¡¼ 1,025nmÀÇ 400ÆèÅäÃÊ ·¹ÀÌÀú¿Í 1,064nmÀÇ 10ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇØ ±× Ư¼ºÀ» ºñ±³ÇØ º¸¾Ò´Ù. ±×¸² 8¿¡¼ º¸¿©Áö´Â °á°ú¿¡¼ ·¹ÀÌÀú ¿µÇâ »ó¼ö´Â À¯ÁöÇß´Ù. ÇÇÄÚÃÊ ±ÙÀû¿Ü¼± ·¹ÀÌÀú¸¦ ÀÌ¿ëÇÑ Á¦°Å¿¡¼´Â ¿ëÇØ È¿°ú¿Í Á¦°Å¿µ¿ª¿¡¼ ³ª»Û °æ°è¸éÀ» Çü¼ºÇÏ´Â °ÍÀ» ½±°Ô ´«À¸·Î º¼ ¼ö ÀÖ´Ù. ÀüÀÚ-°ÝÀÚ ¿¡³ÊÁöÀÇ º¯È¯ ½Ã°£ÀÌ 10ÇÇÄÚÃʺ¸´Ù ÈξÀ ºü¸£´Ù´Â °ÍÀ» ÃßÁ¤ÇÒ ¼ö ÀÖ°í, µû¶ó¼ SiN ÄÚÆÿ¡¼ ºñ¼±Çü Èí¼ö°¡ ÃæºÐÇÏÁö ¾Ê´Ù. SiNÀº ¹Ý»ç¹æÁö¸·À¸·Î »ç¿ëµÇ´Â ÀÌÀ¯·Î, ³·Àº °µµ¿¡¼´Â ±ÙÀû¿Ü¼± ¿µ¿ªÀº Åõ°ú°¡ µÈ´Ù. ÀÌ·± ¹æ½ÄÀ¸·Î ÆÞ½º ¿¡³ÊÁö°¡ SiN ÄÚÆÃÀ» ÅëÇØ ÀüµµµÇ°í °á±¹Àº ¾Æ·¡¿¡ ÀÖ´Â ½Ç¸®ÄÜ ¹úÅ© Ãþ¿¡¼ Èí¼öµÇ¸ç, ÀÌ°ÍÀÌ °ÝÀÚ ¿Âµµ¸¦ »ó½Â½ÃÅ°°í °á±¹Àº ¿ëÇØ°¡ ³ªÅ¸³´Ù.
SiN/SiÃþÀÇ ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ ºñ¼±Çü Èí¼ö ÀÚ·á°¡ ¾Ë·ÁÁöÁö ¾ÊÀº ÀÌÀ¯´Â ü°èÀûÀÎ ¿¬±¸°¡ ºÎÀçÇ߱⠶§¹®ÀÌ´Ù. Ãß°¡ ½ÇÇè¿¡¼´Â ÆÞ½º Áö¼ÓÀ» 600ÆèÅäÃÊ¿Í 10ÇÇÄÚÃÊ »çÀÌ¿¡¼ Á¶À²ÀÌ °¡´ÉÇÑ ·¹ÀÌÀú¸¦ ÁغñÇÒ °èȹÀÌ´Ù.
±ÙÀû¿Ü¼± ÆèÅäÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ ³Ã¿¬ Á¦°Å
¿ì¸®´Â ±ÙÀû¿Ü¼± ÆèÅäÃÊ ·¹ÀÌÀú(JENOPTIK»çÀÇ JenLas D2.fs)¸¦ ÀÌ¿ëÇØ 50~80nm µÎ²²ÀÇ SiN ÃþÀÇ ³Ã¿¬ Á¦°Å¸¦ ¼³¸íÇß´Ù. ½Ì±Û¼¦ÀÇ Áß¿äÇÑ ½ÇÇèÀº ¿øÇüÀ¸·Î Áö¸§ 60¥ìm±îÁö ¼Õ»óÀÌ ¾ø´Â Á¦°Å¸¦ º¸¿©ÁØ´Ù. ÀÌ Á¦°Å ¹æ½ÄÀº ÃÖ´ë 100kHz ¹Ýº¹À²ÀÇ 400ÆèÅäÃÊ ÆÞ½º¿¡¼ ÀÌ·ïÁú ¼ö ÀÖ´Ù. ±ÙÀû¿Ü¼± ÇÇÄÚÃÊ ·¹ÀÌÀúÀÇ »ç¿ëÀº Á¦°Å Ư¼ºÀÌ »ó´çÈ÷ ¾ÇȵÊÀ» º¸¿©ÁÖ¾ú´Ù.
Á¦°Å Ç°Áú ºÐ¼®À» À§ÇÑ ±ØÃÊ´Ü ÆÞ½ºÀÇ Áö¼Ó½Ã°£ÀÇ Ã¼°èÀûÀÎ Á¶À²»Ó¸¸ ¾Æ´Ï¶ó SiN/Si ½Ã½ºÅÛ¿¡¼ À§ÀÇ °á°ú¿¡¼ º¸¿©Áø Á¦°Å Ư¼º¿¡ ´ëÇؼ´Â ´õ ÀÚ¼¼ÇÑ ºÐ¼®ÀÌ ÁøÇàµÇ°í ÀÖÀ¸¸ç, ÃßÈÄ¿¡ ¼Ò°³Çϵµ·Ï ÇÏ°Ú´Ù.
SOLAR TODAY ÆíÁý±¹ / Tel. 02-719-6931 / E-mail. st@infothe.com
[SolarToday ()]
[ÀúÀÛ±ÇÀÚ © ¼Ö¶óÅõµ¥ÀÌ, ¹«´Ü ÀüÀç ¹× Àç¹èÆ÷ ±ÝÁö]